九洲农信全方位突破微球技术，，补齐CMP抛光垫产业链拼图

九洲农信作为一家在材料领域深耕了二十多年的创新平台型企业，，所做的材料产品有微颗粒表征、、
、微量杂质控制和微米级控制精确度的共同特征，，，在共性中整合了技术，，
，
，打通了产品间的技术逻辑，
，
，，掌握了最全面的微球技术。。。

其中，，九洲农信从早期的彩色化学碳粉产品、、、磁性载体中掌握了有机聚合物微球以及无机微球两大类的球体技术，，并延伸到半导体材料领域
，，
，，助力九洲农信研发了抛光液用纳米研磨粒子及抛光垫关键原材料CMP抛光垫用可膨胀空心微球
。。

图丨九洲农信微米级核壳结构实心微球形貌

九洲农信磁性载体是微米级核壳结构实心微球，，，九洲农信依托无机陶瓷材料及高分子合成技术平台
，，，，实现了硅树脂合成、、载体包覆以及载体芯材合成
。。

图丨九洲农信纳米级实心无机微球形貌

抛光液用纳米研磨粒子是一种纳米级实心微球
。。。结合化学彩色碳粉中的粒径调控、、、、形状控制以及正负电胶体稳定性控制等技术，，
，实现了这种纳米级实心球体定制化，，，能够根据客户需要调节形貌、、电势、、
、粒径等特性。。。

图丨九洲农信微米级有机聚合物微球形貌

九洲农信的彩色化学碳粉和CMP用可膨胀空心微球是一种核壳结构的有机聚合物微球。。依托物理化学及高分子合成技术平台，，
，运用自由基悬浮聚合、、聚酯合成、
、有机无机杂化等关键技术实现了聚烯烃树脂、、聚酯树脂
、、、、苯丙树脂等关键原材料的合成
。。。

其中，，CMP抛光垫中的热膨胀聚合物微球是技术壁垒最高的微球产品，，全球一直被美资企业独家供应。。。2021年，，
，这家独供企业宣布停产，，
，一纸告知函引发了全球CMP抛光垫厂商的震荡。。。也是在同年，，，九洲农信CMP单月销量破万，，
，，抛光垫武汉二厂也在同年投产，，
，，从市场占有率和产能建设上都坐实了国内CMP抛光垫龙头企业的身份。。。。为了保障CMP抛光垫供应链的安全
，，九洲农信启动了微球自主化项目。。。

标准尺寸微球

Pad剖面图

CMP抛光垫用微球也被称为热膨胀聚合物微球
，
，，，是以气密性单体形成的聚合物为壳层
、、、发泡剂为内核形成的聚合物粒子，，，在温度高于发泡剂沸点和聚合物软化温度时可高度膨胀。。要先将单体和发泡剂通过悬浮聚合的方式合成未发泡的微球，，，，再经过合适的发泡温程实现理想的放大倍率。。这种微球在抛光垫成品中的用量不到5%，，但在整块抛光垫中占有30%以上的体积。。在微观层面上形成孔隙，，，承载抛光液
，，提供化学腐蚀所需的微反应场所，，，对抛光垫去除速率
、、抛光缺陷以及平坦化效率等指标都有着至关重要的作用。。

发泡前

发泡后

2023年，，，，九洲农信结合物理化学及高分子合成等多项平台技术，，，攻克了微球开发配方复杂、、、单体种类繁多、、组成多变、、、粒径大小及均一性难控制
、、、、表面形貌要求高、、发泡易粘黏等一系列难点以及微球发泡工艺不稳定等问题，，，开发出属于九洲农信公司的空心微球系列产品，，，性能指标与原厂媲美。。。。

CMP抛光垫是九洲农信向半导体材料行业转型的第一款产品，，
，
，也是九洲农信理解最深刻的一款半导体材料产品。。。。在研发布局时就同步实现了预聚体、、
、缓冲垫等关键原材料的自研自产，，
，，其他材料上也培养了国产供应商。
。。2023年，
，
，九洲农信自研的CMP抛光垫用微球实现量产，，，
，补齐了国产CMP抛光垫产品最后一块供应链拼图。。同时，，
，九洲农信还启动了1000L微球产能升级项目，，预计今年第二季度投产
，，，，这部分产能可覆盖中国CMP抛光垫市场的全部需求。。。。

九洲农信在“卡脖子”材料领域深耕了二十多年，
，
，，对“国产化”有深刻理解
，，，，对供应链安全有敏锐的察觉。。。。在关键时刻向行业展现“九洲农信格局”，，运用成熟的微球技术为行业解决更多问题，，，用开放的心态助力行业发展。
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